無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一,無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
隨著現(xiàn)代化生產(chǎn)的發(fā)展及工業(yè)技術的升級換代,對于無塵清潔生產(chǎn)及其環(huán)境的要求越來越高,比如無塵車間要求車間地坪要耐腐蝕、潔凈和耐磨,室內(nèi)空氣含塵量盡量的低,有很多無塵車間凈化廠房,還要求地面具備防靜電和防1菌抑菌性能。除了工業(yè)生產(chǎn)凈化廠房對室內(nèi)凈化程度要求外,很多科研、教學、實驗、醫(yī)院也對室內(nèi)空氣凈化程度有很高要求。
無塵室有五個特性:
(l)耐久性;無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。(2)成本;(3)適應性;(4)可維護性;(5)清洗;在制藥和生物工學工業(yè),無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性1病毒或細菌的污染之特性。